油(yóu)擴散泵(bèng)抽氣系(xi)統的*缺(que)點是油(yóu)蒸汽的(de)污染。
系(xi)統中污(wū)染物的(de)主要來(lái)源如下(xià)：
(1)擴散泵(bèng)油蒸汽(qì)的返流(liu)。這是最(zuì)重大的(de)污染源(yuán)。
(2)系統中(zhōng)的零部(bu)件，在裝(zhuang)配時用(yòng)有油的(de)手拿。用(yòng)有油污(wū)的手套(tao)拿，這樣(yàng)粘染的(de)有機分(fen)子可以(yǐ)造成系(xi)統内的(de)污染。
(3)前(qián)級油封(feng)機械泵(bèng)油的返(fan)流。這個(ge)問題也(ye)很嚴重(zhòng)，當入口(kou)壓力較(jiao)高時，在(zài)達到過(guò)渡區(1～10-1Pa)壓(yā)力時，機(jī)械泵的(de)油蒸汽(qì)即可直(zhi)接進入(rù)擴散泵(bèng)内，對系(xi)統直接(jiē)進行污(wu)染。很多(duō)真空工(gōng)藝過程(chéng)的污染(ran)來自機(ji)械泵返(fan)油。當停(tíng)機械泵(bèng)時如不(bu)及時向(xiang)泵内放(fàng)大氣，機(jī)械泵油(yóu)可直接(jie)返到擴(kuo)散泵油(yóu)鍋内。當(dang)擴散泵(bèng)起動時(shí)對系統(tǒng)的污染(ran)更為嚴(yán)重。
(4)抽氣(qì)系統中(zhong)密封材(cai)料的放(fàng)氣造成(cheng)的污染(rǎn)。特别是(shi)人造橡(xiang)膠密封(feng)圈，密封(fēng)油脂，潤(run)滑油等(děng)，也同樣(yàng)造成嚴(yan)重的污(wū)染。
(5)當停(ting)泵後放(fàng)大氣時(shí)，使真空(kong)零部件(jian)在空氣(qi)中粘污(wu)上水蒸(zheng)汽，油煙(yān)等，造成(cheng)對真空(kōng)系統的(de)污染。
消(xiāo)除系統(tong)油蒸氣(qi)返流的(de)具體措(cuò)施為：
(1)加(jiā)大擴散(sàn)泵的啟(qǐ)動功率(lǜ)來縮短(duǎn)機械泵(beng)與擴散(san)泵切換(huan)時的壓(ya)力過渡(du)區。
(2)通過(guò)改變系(xì)統操作(zuo)工藝和(he)用閥門(men)來避開(kāi)返流危(wei)險區（切(qie)換過渡(dù)區）。例如(rú)，可使一(yī)個按照(zhào)預定速(su)度開啟(qǐ)的高真(zhen)空閥，逐(zhú)漸地開(kai)啟它，保(bao)證進入(ru)擴散泵(beng)的氣體(tǐ)流量低(di)于它的(de)*排氣量(liang)，并且又(you)使機械(xie)泵抽速(sù)保證擴(kuò)散泵前(qián)級壓力(lì)，以使擴(kuò)散泵能(néng)樹立工(gong)作。這樣(yang)就能避(bì)開過渡(du)區的出(chū)現。
(3)改善(shan)操作工(gong)藝，将擴(kuo)散泵的(de)加熱功(gōng)率調至(zhi)*功率，避(bi)免出現(xiàn)泵油爆(bào)沸現象(xiàng)；一般擴(kuo)散泵在(zài)加熱開(kai)始和關(guān)閉過程(cheng)中，返流(liú)将出現(xiàn)峰值，所(suǒ)以可用(yong)泵口處(chù)的高真(zhen)空閥門(men)來控制(zhi)避免返(fan)流。
(4)在擴(kuò)散泵入(ru)口處加(jiā)裝液氫(qīng)冷阱或(huo)吸附阱(jǐng)來捕集(ji)返流油(yóu)蒸氣。
(5)選(xuǎn)用*的擴(kuò)散泵工(gōng)作液。